plasmaunterstützte CVD

plasmaunterstützte CVD
прил.
микроэл. плазмохимическое осаждение, химическое осаждение из газовой фазы с плазменным стимулированием, химическое осаждение из паровой фазы с плазменным стимулированием

Универсальный немецко-русский словарь. . 2011.

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